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氧化鎵半導(dǎo)體器件領(lǐng)域研究取得重要進(jìn)展

來源:中國網(wǎng)  時(shí)間:2022-12-13 09:06  編輯:沐瑤   閱讀量:11715   

記者12日從中國科大獲悉,中國科大國家示范微電子學(xué)院龍仕兵教授的兩篇氧化鎵器件研究論文在美國三藩市舉行的第68屆國際電子器件大會(huì)上被接受。

氧化鎵半導(dǎo)體器件領(lǐng)域研究取得重要進(jìn)展

IEEE DM是關(guān)于微電子和納米電子學(xué)的年度學(xué)術(shù)會(huì)議它是報(bào)告半導(dǎo)體和電子設(shè)備技術(shù),設(shè)計(jì),制造,物理和建模領(lǐng)域關(guān)鍵技術(shù)突破的世界頂級論壇IEEE DM與ISSCC和VLSI一起被稱為集成電路和半導(dǎo)體領(lǐng)域的奧林匹克盛會(huì)

如何開發(fā)有效的邊緣終端結(jié)構(gòu),緩解肖特基電極的邊緣電場,是氧化鎵肖特基二極管的研究熱點(diǎn)由于氧化鎵的p型摻雜目前還沒有解決,與PN結(jié)相關(guān)的邊緣終端結(jié)構(gòu)一直是難點(diǎn)在氧化鎵異質(zhì)結(jié)前期研究的基礎(chǔ)上,龍冰研究組成功地將異質(zhì)結(jié)終端擴(kuò)展結(jié)構(gòu)應(yīng)用于氧化鎵肖特基二極管本研究通過合理的設(shè)計(jì)優(yōu)化了JTE區(qū)的電荷濃度,保證了在最大程度削弱肖特基邊緣電場的同時(shí),二極管的正向特性不受影響,從而有效提高了器件的耐壓優(yōu)化后的器件實(shí)現(xiàn)了2.9mω·cm2的低導(dǎo)通電阻和2.1kV的高擊穿電壓,其功率品質(zhì)因數(shù)高達(dá)1.52 GW/cm 2此外,利用該優(yōu)化工藝成功制作并封裝了大面積氧化鎵肖特基二極管

光電探測器在目標(biāo)跟蹤,環(huán)境監(jiān)測,光通信,深空探測等領(lǐng)域發(fā)揮著越來越重要的作用響應(yīng)度和響應(yīng)速度是光電探測器的兩個(gè)關(guān)鍵性能參數(shù)但是,這兩個(gè)指標(biāo)之間是一種制約關(guān)系,兩者之間是有取舍的龍冰團(tuán)隊(duì)引入了額外的輔助光源來實(shí)現(xiàn)相反的光柵控制方案,以緩解上述限制

本文提出了光電探測器芯片中數(shù)千萬像素共用一個(gè)輔助LED的策略,緩解了響應(yīng)性和響應(yīng)速度之間的制約,對提高光電探測器芯片的綜合性能具有重要的參考意義。

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